金融界3月11日消息精密機(jī)械 ，有投資者在互動平臺向中石科技提問：光刻機(jī)工件臺的納米級運(yùn)動精度對熱變形極其敏感，公司是否開發(fā)過用于精密機(jī)械結(jié)構(gòu)的主動溫控材料（如動態(tài)導(dǎo)熱補(bǔ)償膜）？與海外競品（如德國漢高）的技術(shù)差距體現(xiàn)在哪些參數(shù)（如導(dǎo)熱速率波動率）？
公司回答表示：目前公司尚未開發(fā)用于精密機(jī)械結(jié)構(gòu)的主動溫控材料精密機(jī)械 。
來源：金融界